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【24h】

Development Of 3d Micro-nano Hybrid Patterns Using Anodized Aluminum And Micro-indentation

机译：利用阳极氧化铝和微压痕技术开发3d微纳米混合图案

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We developed a simple and cost-effective method of fabricating 3D micro-nano hybrid patterns in which micro-indentation is applied on the anodized aluminum substrate. Nano-patterns were formed first on the aluminum substrate, and then micro-patterns were fabricated by deforming the nano-patterned aluminum substrate. Hemispherical nano-patterns with a 150 nm-diameter on an aluminum substrate were fabricated by anodizing and alumina removing process. Then, micro-pyramid patterns with a side-length of 50 μm were formed on the nano-patterns using micro-indentation. To verify 3D micro-nano hybrid patterns, we replicated 3D micro-nano hybrid patterns by a hot-embossing process. 3D micro-nano hybrid patterns may be used in nano-photonic devices and nano-biochips applications.
机译：我们开发了一种简单且经济高效的制造3D微纳米混合图案的方法，其中在阳极氧化铝基板上施加了微压痕。首先在铝基板上形成纳米图案，然后通过使纳米图案化的铝基板变形来制造微图案。通过阳极氧化和氧化铝去除工艺在铝基板上制备了直径为150 nm的半球形纳米图案。然后，使用微压痕在纳米图案上形成侧面长度为50μm的微金字塔图案。为了验证3D微纳米混合图案，我们通过热压印工艺复制了3D微纳米混合图案。 3D微纳米混合图案可用于纳米光子设备和纳米生物芯片应用中。

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