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机译：微摩擦学

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Contacts in microsystems are under very light loads, and contact elements are made of hard materials. However, contact surfaces are not always atomically smooth but have relatively high peaks of asperity. Silicon is hard but has poor anti-wear properties. Good hard coatings thus become necessary for low wear. Liquid lubricants or adsorbed water generate meniscus forces and stiction. Therefore, a new lubrication method is required for coated surfaces. The present understanding of mechanisms of stiction and the generation of pull-off force and high friction is reviewed for such contact conditions. New hard coating materials and a new concept of N_2 lubrication that exhibit promising friction and wear behaviour are introduced.
机译：微系统中的触点承受的负载非常轻，触点元件由硬质材料制成。然而，接触表面并不总是原子上光滑的，而是具有相对较高的粗糙峰。硅很硬，但抗磨性能差。因此，良好的硬质涂层对于降低磨损至关重要。液体润滑剂或吸附的水会产生弯液面力和静摩擦力。因此，对于涂层表面需要一种新的润滑方法。对于这种接触条件，回顾了目前对静摩擦以及拉力和高摩擦力产生机理的理解。介绍了表现出良好的摩擦和磨损性能的新型硬质涂层材料和N_2润滑的新概念。

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