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真空計測の小特集にあたって

机译:真空测量的特色

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摘要

現在,主に使用されている真空計の種類と,その測定圧力範囲を図1にまとめた.本小特集(9号および10号)では,この中の,大気圧(10~5Pa)から低真空•中真空(10~(-3)Pa)までの圧力を測定する真空計について,基本原理から最新の技術動向を紹介する.具体的には,様々な特徴を持った各種の新型隔膜真空計,水晶摩擦真空計と冷陰極電離真空計の複合真空計,熱伝導真空計の一種である新型圧力センサについて,開発メーカに製品紹介や技術資料という形でご報告頂いている.充実した内容になっていることと思う.読者におかれては,以下の各解説を読むにあたって,二点,気に留めておいてほしいことがある.
机译:图1总结了当前使用的真空计的类型和测量压力范围。在此特刊(第9号和第10号)中,大气压力(10至5 Pa)真空•介绍了从真空计的基本原理开始的最新技术趋势,该真空计可测量高达中真空(10至(-3)Pa)的压力,尤其是具有各种特性的各种新型隔膜真空。仪表,石英摩擦真空表和冷阴极电离真空表的组合真空表以及新型压力传感器(一种导热真空表)已通过产品介绍和技术数据的形式向开发制造商报告。阅读以下说明时,读者应牢记两件事。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2016年第9期|237-238|共2页
  • 作者

    吉田 肇;

  • 作者单位

    産業技術総合研究所 計量標準総合センター 工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ(〒305-8569 茨城県つくば市梅園1-1-1つくば中央第3);

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