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真空・薄膜徒然草 6

机译：真空・薄膜徒然草 6

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摘要

もう30年以上も前のことであるから，恥をさらしてしまおうかと思う．薄膜が基板上に成長する棟構については，実験，理論の両面から多くの研究がなされ，モデルが提出されてきた．現在，薄膜の成長機構は3種類あるということがほぼ確立している．学会の会誌や講演会の総合報告，解説などでほ第一線で活躍している研究者達がこの3種類があることを前提にして講演したり解説記事を書いたりしており，私もそれに倣ってきた．これからも，よほど新しい展開がなければその3種類を説明することになると思う．
机译：已经30多年了，所以我感到ham愧。关于薄膜在基板上生长的结构，无论是在实验上还是在理论上，已经进行了许多研究并提交了模型。目前，几乎可以确定存在三种类型的薄膜生长机制。活跃在会议日记，演讲的一般报告，解释等方面的前线研究人员正在假设这三种类型存在的情况下进行演讲和撰写解释性文章。我遵循了。从现在开始，除非有如此多的新进展，否则我将解释这三种类型。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2010年第11期|p.696-698|共3页
  • 作者

    金原　粲;

  • 作者单位

    東京大学生産技術研究所（〒153-8505 東京都目黒区駒場4-6-1;

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