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軸対称透過形電離真空計の感度係数のばらつきと安定性

机译:轴对称透射型电离计灵敏度系数的变化和稳定性

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摘要

電離真空計は,個々の測定子の感度校正が行われるか,又rnは,基準器との圧力指示値の差がある範囲以内であることがrn確認されてから使用されるべきである.最近の電離真空計野rn中には1本づつ校正されたものもあるが,未校正のままでrn市販されることが多い.%The deviation of the sensitivity factors for the axial-symmetric transmission gauge (AT gauge) were examined and compared with those for the B-A gauges and the extractor gauges. The calibrations were performed against nitrogen. The deviations for three types of gauges were about ± 10%, nearly the same one another. The long-term variation of the sensitivity factor for two AT gauges was also examined. For one sensor, the sensitivity factor decreased 10% during initial two years operation while the factor stabilized within ±3% for the successive three years. The temperature dependence of the sensitivity factor is discussed for the data obtained in the stabilized period.
机译:在执行每个探针的灵敏度校准后,应使用电离真空计,或者确认rn在参考仪器的压力读数的特定范围内。某些最近的电离真空计rn已被一一校准,但它们经常在未校准的情况下投放市场。检验了轴对称透射计(AT计)的灵敏度系数偏差,并将其与BA计和抽出式计的灵敏度系数进行了比较,并针对氮气进行了校准。三种类型的计的偏差约为±对于一个传感器,在最初的两年运行中,灵敏度系数下降了10%,而对于10%,该系数稳定在±3%以内,彼此几乎相同。还检查了两个AT仪表的灵敏度系数的长期变化。温度为三年。对于稳定期获得的数据,讨论了灵敏度因子的温度依赖性。

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