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クリーン・真空環境に適した最近の潤滑技術

机译：适用于清洁/真空环境的最新润滑技术

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摘要

Thin film lubricants and high-temperature solid lubricants are discussed as the latest alternatives to fluorine grease. These lubricants feature lower outgassing for clean and vacuum environments. Specifically, they produce less organic contamination associated with particle emissions and outgassing, and are capable of being operated under conditions up to 200℃. For conditions exceeding 200℃, improvements made to bearing design allow for the use of high-temperature solid lubricants.%転がり軸受，ボールねじ及び直動転がり案内は半導体デバrnイス，フラットパネルディスプレイ，太陽電池などの製造装rn置に使用され，需要増加に伴い，その使用環境は多様化してrnいる．また，半導体デバイスなどの製品はより高性能化，高rn楼能化の傾向にあり，製造プロセスはより厳しいクリーン・rn真空，高温などの環境になっている．例えば，半導体製造なrnどのリソグラフィや薄膜生成工程では，クリーン・真空環境rnでのアウトガス，発塵，トルクなどの潤滑特性が製品歩留まrnりに大きな影響を及ばす．
机译：薄膜润滑剂和高温固体润滑剂是氟润滑脂的最新替代品，这些润滑剂在清洁和真空环境下具有较低的脱气性能，特别是它们产生的与颗粒物排放和脱气相关的有机污染物较少，并且能够运行在最高200℃的条件下。对于超过200℃的条件，对轴承设计的改进允许使用高温固体润滑剂。％滚动轴承，滚珠丝杠和直线运动滚动导轨是半导体器件，平板显示器，它用于制造诸如太阳能电池之类的设备，并且其使用环境随着需求的增加而多样化。另外，诸如半导体器件的产品倾向于具有更高的性能和更高的功能，并且制造过程处于更严酷的环境中，例如干净的真空和高温。例如，在诸如半导体制造的光刻和薄膜生产过程中，在清洁/真空环境中的润滑特性（例如脱气，灰尘产生和扭矩）rn极大地影响了产品的产量rn。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2008年第7期|481-484|共4页
  • 作者

    金野　大;

  • 作者单位
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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