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四極子形質量分析計のイオン源グリッド表面から放出された電子励起脱離イオン：脱離イオン種と圧力依存性

机译：从四极质谱仪离子源栅格表面发射的电子激发解吸离子：解吸离子种类和压力依赖性

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The pressure dependence of the electron stimulated desorption (ESD) ions were investigated by the quadrupole mass spectrometer with a Bessel-box type energy analyzer. The mass spectra of the ESD ions were measured under introduction of H_2O, CO, O_2 and CO_2. The ESD ion peaks for those gasses were observed at O~+ (m/z = 16). The mass spectra of the gas phase ions were also measured and compared with those of ESD ions during the pumping down process. The origin of the main species in ESD ions, O~+ , was the adsorbed H_2O on the grid surfaces.%電離真空計，四極子形質量分析計のグリッド表面に吸着しrnた原子，分子が電子衝撃を受けると，電子励起脱離（electron stimulated desorption，ESD）によるイオン，中性原子，分子，励起中性原子，分子が放出される．これらのrnESD粒子は超高真空・極高真空の圧力測定を擾乱する要因となることが古くから指摘されている．特に正イオンとして放出されたものは，直接イオン検出器で検出されるので最rnも大きな擾乱要因となり得る．rn圧力測定の信頼性を高めるたrnめに，ESDイオンの初期運動エネルギー（例えばMo上にrn吸着したCOからのO~＋ESDイオン：6-7 eV）と気相イオrnンの初期運動エネルギー（例えば300Kの窒素分子の熱運動rnエネルギー：約0.03eV）との差を利用してこれらのイオンrnを区別し，気相イオンのみの測定を可能とするエネルギー分rn析器付きの電離真空計，および四極子形質量分析計rn（QMS）が提案されている．
机译：在四极杆质谱仪上使用Bessel-box型能量分析仪研究了电子激发解吸（ESD）离子的压力依赖性，并在引入H_2O，CO，O_2和CO_2的情况下测量了ESD离子的质谱。在O〜+（m / z = 16）处观察到了这些气体的离子峰，并在抽气过程中测量了气相离子的质谱并将其与ESD离子进行了比较。 ESD离子O〜+是网格表面上吸附的H_2O。当电离真空计或四极质谱仪的网格表面上吸附的原子和分子受到电子撞击时，电子激发的脱附％离子，中性原子，分子，受激中性原子和分子是通过电子激发解吸（ESD）发射的。长期以来一直指出，这些rnESD颗粒会干扰超高真空和超高真空的压力测量。特别是，作为正离子发射的那些离子被离子检测器直接检测，因此最大值rn可能是造成干扰的主要原因。 rn为了提高压力测量的可靠性，ESD离子的初始动能（例如，Mo上吸附在rn上的来自CO的O〜+ ESD离子：6-7 eV）和气相离子的初始动能（例如，氮分子在300K时的热动能rn：约0.03eV）用于区分这些离子rn并仅测量气相离子。并提出了四极质谱仪（QMS）。

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