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第33回熊谷記念真空科学論文賞

机译:第33届熊谷纪念馆真空科学论文奖

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摘要

受賞候補者:河瀬和雅(三菱電枚)・梅田浩司・井上真雄(以上ルネサステクノロジ)・諏訪智之・寺本章伸・服部健雄・大見rn忠弘(以上東北大学)rn業 績:ラジカル窒化シリコン酸窒化膜における窒素プロファイルのX線光電子分光分析による評価rn(主論文)河瀬和雅・梅田浩司・井上真雄・諏訪智之・寺本章伸・服部健雄・大見忠弘:「ラジカル窒化シリコンrn酸窒化膜における窒素プロファイルのX線光電子分光分析による評価」真空50巻11号(2007)672-677.
机译:获奖者:川濑和正(三菱电机),梅田晃司,井上正雄(瑞萨科技),Su访智之,寺本明信,服部武雄,大田忠宏(东北大学) X射线光电子能谱法评价氮氧化物薄膜中的氮分布rn(主要论文)川濑和正,梅田晃司,井上正雄,Su访智之,寺本明信,服部武雄,大田忠宏:用X射线光电子能谱法评价膜中氮的分布”,第50卷,第11期(2007)672-677。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2008年第9期|573-574|共2页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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