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グラニエラー型垂直磁気記録媒体における界面制御

机译：Granierror型垂直磁记录介质中的界面控制

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摘要

For realizing perpendicular magnetic recording media (PRM) for hard disk drive (HDD), precisely controlled fabrication technology with angstrom scale according to the required properties is essential from material, processes, and physical view point. PRM presently consist of three functional parts; a soft magnetic underlayer (SUL), a nonmagnetic intermediate layer, and a recording layer (RL). The control of domain structure through interlayer coupling induced by RKKY-like interaction in SUL and narrower size distribution of the magnetic particles with magnetically decoupling in recording layer are indispensable for advanced PRM with high signal to noise ratio and thermal stability. In this paper, structure and magnetic properties for SUL and RL in a real fabricated PRM is discussed in connection with sputtering process parameters and also target materials.%昨今のグローバルネットワークを支える電子情報デバイスrnでは，多様な微細組織を有する薄膜の積層構造によって高機rn能化が図られている．特に垂直磁気記録ハードディスク用のrn磁性薄膜では，数ナノメートル程度の強磁性結晶粒を取り囲rnむ非磁性酸化物粒界相の形成や，1ナノメートル以下の極薄rn金属層の安定形成等を一例とするように，所望の機能を導出rnするための材料学的組織制御のスケールがオングストロームrnオーダーに至っている．
机译：为了实现用于硬盘驱动器（HDD）的垂直磁记录介质（PRM），从材料，工艺和物理角度出发，根据所需属性使用埃级精确控制的制造技术至关重要。目前，PRM由三个功能部分组成：软磁性底层（SUL），非磁性中间层和记录层（RL）。通过具有高信噪比和热稳定性的高级PRM，通过SUL中的RKKY类相互作用诱导的层间耦合控制畴结构以及在记录层中通过磁性去耦将磁性颗粒的尺寸分布变窄是必不可少的。本文结合溅射工艺参数和目标材料，讨论了在实际制造的PRM中SUL和RL的结构和磁性质。特に垂直磁気记录ハードディスク用のrn磁性薄膜では，数ナノメートル程度の强磁性结晶粒を取り囲rnむ非磁性酸化物粒界相の形成や，1ナノメートル以下の极薄rn金属层の安定形成等を一例とするように，所望の机能を更新rnするための材料学的组织制御のスケールがオングストロームrnオーダーに至っている。

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