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榦高真空電界電子放出と韓国の榦高真空技術

机译：岳高真空场发射和韩国岳高真空技术

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An extreme high vacuum field emission microscope (XHV-FEM) was constructed for the study of inherent fluctuations of field emission (FE) current. The damping and fluctuation behaviors of FE from clean W(111) tips at 90 K were observed using the XHV-FEM. The noise of FE currents ranging from 10 pA to 100 μA was measured under ～7 × 10~(10) Pa. Stepwise features were routinely observed in damping curves of the FE current, indicating remarkable sensitivity of the FE current measuring system. The lowest frequency measurement of shot noise was recorded even at 4 Hz. Semilogarithmic damping curves of FE currents were linear in our thoroughly degassed XHV-FE system. The slope of semilogarithmic damping curves was linearly proportional to the operation pressure, suggesting a method of measuring pressure in an XHV range. An introduction to the XHV technology of Korea is also presented.%コヒーレントな電子線を得る唯一な方法である電界電子放rn出現象は真空と密接な関係がある．電界電子放出電子源のrn表面にガスが吸着すると放出電流量は不安定になるが，圧力rnを下げて電界放出電子源に吸着するガスの量を減らすことrnで，電界放出電流の安定性は向上する．
机译：为了研究场发射（FE）电流的固有波动，构造了一个极高真空场发射显微镜（XHV-FEM）。使用XHV-FEM观察到在90 K时干净的W（111）尖端产生的FE的阻尼和波动行为。在〜7×10〜（10）Pa的条件下测量了10 pA至100μA的FE电流噪声。在FE电流的阻尼曲线中通常观察到阶梯状特征，这表明FE电流测量系统具有显着的灵敏度。即使在4 Hz时，也记录了散粒噪声的最低频率测量值。在我们彻底脱气的XHV-FE系统中，FE电流的半对数阻尼曲线是线性的。半对数阻尼曲线的斜率与工作压力成线性比例，这表明一种在XHV范围内测量压力的方法。还介绍了韩国的XHV技术。％コヒーレントな电子线を得る唯一な方法である电界电子放rn出现象は真空と密接な关系がある。电界电子放出电子源のrn表面にガスが吸着すると放出电流量は不安定になるが，圧力rnを下げて电界放出电子源に吸着するガスの量を减らすことrnで，电界放出电流の安定性は向上する。

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