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封止残留ガス分析計を用いた新しいガス放出速度測定法

机译：一种使用密封残留气体分析仪测量除气率的新方法。

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摘要

フラットパネルディスプレイ（FPD）や微少機械技術rn（MEMS）などの先端技術分野でも真空技術は使われる．シrnステムはゲックーだけで真空を維持する必要があり，ゲッrnター以外のポンプを使わない永久封止真空システムであるこrnとが多い．封止真空技術の多くは，電子管やブラウン管時代rn（20世紀）に多くの技術開発がなされ，ほぼ完結している．%The new measurement method of outgassing speed with a sealed off quadrupole residual gas analyzer (RGA) has been proposed. The unique feature of this method is that the high vacuum can be maintained by the self-pumping effect of the ultra low outgassing RGA. The newly-developed mass analyzer combined with BA-gauge is the key for this method. The pressure of chamber can be maintained below 2～5 × 10~(-7) Pa for a year without any pumping system. The majority of residual gases in the chamber were found to be hydrogen, methane and carbon-monoxide. In order to measure the outgassing speed of the RGA, the pumping speeds were measured by the self-pumping effect of RGA for hydrogen, deuterium, methane, nitrogen, carbon-monoxide, carbon-dioxide, oxygen and argon. When the pumping speed of RGA is balanced for outgassing from the RGA itself, we can calculate its value from the partial pressure in the spectrum. Then, we obtain the outgassing speeds for hydrogen = 8.8 × 10~(-13) Pa m~3/s, methane = 1.2 × 10~(-13) Pa m~3/s, carbon-monoxide = 1.0 × 10~(-13) Pa m~3/s.
机译：真空技术还用于先进技术领域，例如平板显示器（FPD）和微机械技术（MEMS）。 Sirn阀杆仅需要由Geckur保持真空，并且通常是永久密封的真空系统，除了使用Gernter以外，不使用任何泵。在电子管和阴极射线管时代（20世纪），许多真空技术已经几乎完成了许多密封真空技术。提出了一种使用密封的四极杆残留气体分析仪（RGA）测量脱气速度的新方法，该方法的独特之处在于可以通过超低脱气RGA的自抽效应来保持高真空度。新开发的与BA-Gauge结合的质量分析仪是此方法的关键，无需任何泵送系统，一年内室的压力可保持在2-5×10〜（-7）Pa以下，大部分残留气体在反应室内发现氢气，甲烷和一氧化碳。为了测量RGA的排气速度，通过RGA对氢气，氘，甲烷，氮气，一氧化碳，二氧化碳，氧气和氩气，当RGA的抽气速度达到平衡时，可以从RGA本身中除气，我们可以从频谱中的分压计算出其值，然后，我们可以得出氢气的除气速度= 8.8× 10〜（-13）Pa m〜3 / s，甲烷= 1.2×10〜（-13）Pa m〜3 / s，一氧化碳= 1.0×10〜（-13）Pa m〜3 / s。

著录项

  • 来源
    《真空》 |2008年第10期|647-652|共6页
  • 作者

    渡辺文夫;

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