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焦点位置変調電子顕微鐁法による収差補正技術の開発とその応用

机译：焦点位置调制电子显微镜像差校正技术的开发与应用

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電子顕微鏡の空間分解能は対物レンズの球面収差により大rnきく制限を受けてきたが，多くの研究者の努力により，ようrnやく球面収差の補正が可能な時代を迎えることとなった.球rn面収差の影響を補正する方法には大別して2つの方法があrnる．一つはドイツの研究者達の長年の努力により完成した方rn法で，1998年のM.Haider達の研究報告により一躍注目をrn浴びることとなった．%Three techniques of wave field reconstruction using focus modulation transmission electron microscopy are reviewed based on a fundamental concept of three-dimensional optical transfer properties. These techniques use a set of through-focus images for the processing and enable not only correction of spherical aberration but also separate imaging of the phase and amplitude components of the sample. Defocus-image modulation processing enables real-time correction of spherical aberration by combining techniques such as high-speed control of focus and high-speed image processing. Three-dimensional Fourier filtering enables correction of all Seidel aberrations including spherical aberration and higher-order aberrations with high signal-to-noise ratios. Dynamic hollow-cone illumination combined with image processing using Fourier filtering has the possibility of reducing the degradation of spatial resolution caused by chromatic aberration. Experimental data obtained by these methods are presented describing the inherent characteristics of the respective methods.
机译：电子显微镜的空间分辨率受到物镜的球差的极大限制，但是许多研究人员的努力终于达到了可以校正球差的时代。大致有两种方法可以校正表面像差的影响。一种方法是由德国研究人员多年努力完成的方法，以及M. Haider等人的研究报告。基于三维光学传输特性的基本概念，回顾了使用聚焦调制透射电子显微镜重建波场的三种技术，这些技术使用一组贯穿焦点的图像进行处理，不仅可以校正球差，而且可以校正散焦图像调制处理通过结合焦点的高速控制和高速图像处理等技术，可以实时校正球面像差，并实现了三维傅里叶滤波。包括球面像差和高信噪比的高阶像差在内的所有Seidel像差的校正。动态空心锥照明与使用傅里叶滤波的图像处理相结合，可以减少由色差引起的空间分辨率的降低。通过这些方法获得的数据为描述各个方法的固有特性。

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