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Creating multi-layered structures with freestanding parts in SU-8

机译：在SU-8中创建具有独立零件的多层结构

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This paper reports on a new method to create multi-layered structures with freestanding parts in SU-8. Examples of such structures are beams partially resting on a post or microchannels. The method, based on high-absorption UV light with a wavelength of 313 nm in SU-8, is fast, uses only traditional micromachining equipment and requires very few processing steps. It is well suited for thin freestanding layers (< 15 μm). Furthermore, a variant of a method that uses a built-in UV blocking layer to enable freestanding structures is described in detail. This method has a broader application range in terms of the thickness of the freestanding parts. Both methods are applied to the fabrication of optical fiber clamps.
机译：本文报告了一种新的方法来创建带有SU-8中独立部件的多层结构。这种结构的例子是部分搁在柱子或微通道上的梁。该方法基于SU-8中波长为313 nm的高吸收紫外线，是一种快速方法，仅使用传统的微加工设备，并且需要很少的处理步骤。非常适合薄的独立层（<15μm）。此外，详细描述了使用内置的紫外线阻挡层来实现独立结构的方法的一种变型。就独立部件的厚度而言，该方法具有更广泛的应用范围。两种方法都适用于光纤夹的制造。

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