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首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >Surface versus bulk micromachining: the contest for suitable applications
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Surface versus bulk micromachining: the contest for suitable applications

机译：表面微加工与批量微加工：适合应用的竞赛

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In the development of silicon based micromachining two quite different technologies have emerged, those of bulk and surface micromachining. Today both technologies are widely available and are still being further developed. There are considerable differences in the processing technologies of the two techniques leading to differences in the structures which can be fabricated. In some applications the technologies are in direct competition, whereas some are dominated by one or the other. This paper will present the advantages and disadvantages of each technology in the contest for applications. [References: 42]
机译：在基于硅的微加工的发展中，出现了两种完全不同的技术，即本体和表面微加工。如今，这两种技术已经广泛使用，并且仍在进一步开发中。两种技术的处理技术存在很大差异，导致可以制造的结构有所不同。在某些应用中，技术处于直接竞争中，而另一些则由一种或另一种主导。本文将在应用程序竞赛中介绍每种技术的优缺点。 [参考：42]

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