Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника

В. Е. Любченко; В. В. Мериакри; Е. Е. Чигряй; V. E. Lyubchenko; V. V. Meriakri; E. E. Chigryai

首页> 外文期刊>Электромагнитные волны и электронные системы >Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника

【24h】

Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника

机译：高电阻半导体衬底上半导体薄膜参数的测量技术

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Описана новая методика неразрушающего измерения комплексного коэффициента преломления тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокооомных полупроводников с помощью миллиметровых волн.

机译：描述了一种使用毫米波对高电阻半导体衬底上的半导体薄膜的复折射率进行无损测量的新技术。

著录项

来源
《Электромагнитные волны и электронные системы》 |2006年第1期|共3页
作者
В. Е. Любченко; В. В. Мериакри; Е. Е. Чигряй; V. E. Lyubchenko; V. V. Meriakri; E. E. Chigryai;
展开▼
作者单位

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类无线电物理学;
关键词

相似文献

中文文献
专利

Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅