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Modelling of dual-frequency capacitive discharges

机译：双频电容放电建模

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We discuss electron heating mechanisms in the sheath regions of dual-frequency capacitive discharges, with the aims of identifying the dominant mechanisms and supplying closed-form expressions from which the heating power can be estimated. We show that the heating effect produced by either Ohmic or collisionless heating is much larger when the discharge is excited by a superposition of currents at two frequencies than if either current had acted alone. This coupling effect occurs because the lower frequency current, while not directly heating the electrons to any great extent, strongly affects the spatial structure of the discharge in the sheath regions. From these results it follows that the ion flux cannot generally be independent of the low-frequency current density, and hence that separate control of the ion energy and flux must be a more complicated procedure than is sometimes suggested. (C) 2007 Published by Elsevier B.V.
机译：我们讨论了双频电容性放电的鞘层区域中的电子加热机理，目的是确定主要机理并提供闭合形式的表达式，据此可以估算出加热功率。我们证明，当通过两个频率的电流叠加来激发放电时，由欧姆加热或无碰撞加热产生的加热效果要比任何一个电流单独起作用时要大得多。之所以会发生这种耦合效应，是因为低频电流虽然没有在很大程度上直接加热电子，但会严重影响鞘区中放电的空间结构。从这些结果可以得出结论，离子通量通常不能独立于低频电流密度，因此对离子能量和通量的单独控制必须比有时建议的过程更为复杂。 （C）2007由Elsevier B.V.发布

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