Современная техника требует создания высокоточных систем из МЭМС-сенсоров деформаций, которые необходимы для контроля крутящих моментов в опорах качения, вращающихся валов с лопастями, турбин и других силовых промышленных установок. Такие системы должны обладать чувствительностью по абсолютным деформациям до 0,1 мкм/м с динамическим диапазоном 80 дБ при ширине рабочей части частотной характеристики до 10 кГц.
展开▼
