Резонансные сенсоры применяются во многих приборах современной техники: в микровесах, в сенсорах для химического анализа жидкостных и газовых сред. Широкое распространение получили резонансные сенсоры вязкости жидкостных и газовых сред, которые выполняются на электромеханических резонаторах, содержащих тонкие пьезокварцевые пластины, на поверхности которых напыляются металлические электроды. Наибольшее применение в этих сенсорах находят пьезокварцевые резонаторы АТ-сре-за с колебаниями сдвига по толщине, частоты первых гармоник которых составляют единицы МГц.
展开▼
