Высокотемпературные измерения выполняются при проведении многих технологических производственных процессов. Известные микроэлектромеханические системы (МЭМС), предназначенные для измерений температур, обычно содержат большое число электронных схем и поэтому практически непригодны для измерений температур, превышающих 100°С. Поэтому МЭМС, обеспечивающие измерение высоких температур, разделяются на две подсистемы. Первая подсистема содержит температурную камеру (термокамеру), внутри которой располагается сенсор температуры и изделие, подвергаемое ее воздействиям.
展开▼
