Наиболее применяемые интерферометрические волоконно-оптические сенсоры деформаций, разработка которых осуществляется с 1980 г., выполняются на волоконно-оптических решетках Брэгга (FBG) и на резонансных ячейках Фабри-Перо (F — P). К числу их основных достоинств, обеспечивающих преимущества перед электрическими (тензорезисторными) сенсорами деформаций, относятся: стойкость и электромагнитным помехам, высокая долговременная стабильность, малые размеры, обеспечение работоспособности в тяжелых климатических условиях при высоких температурах. Основным недостатком сенсоров на РВС является их высокая температурная чувствительность. Решетки этих сенсоров обычно выполняются по методу выжигания с помощью ультрафиолетового излучения. Значения высоких температур, при которых они могут работать, ограничены, так как высокие температуры вызывают повреждения решеток. Последний недостаток в меньшей степени проявляется в интерферометрических сенсорах, выполняемых на автономных ячейках F — P, которые получили значительное распространение. Однако использование автономных ячеек F — P затрудняет их массовое производство с применением микромашиной технологии. В последние годы было предложено несколько методов изготовление этих сенсоров с ячейками F — P, расположенных внутри соединительных волоконно-оптических световодов. При выполнении таких сенсоров световод разрезается на две части и в сердцевине одной половины световода с помощью фтористого водорода НР производится вытравливание полости, используемой в качестве ячейки F — P. Качество изготовления таких ячеек является низким и они не обладают достаточно высокой долговременной стабильностью.
展开▼
