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【24h】

Effective gray scale in lithographically scribed planar holographic Bragg reflectors

机译:光刻划线平面全息布拉格反射器中的有效灰度

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摘要

We demonstrate that holographic Bragg reflector grating structures, which are photolithographically scribed in planar waveguides, support a unique approach to apodization and overlay that uses fixed-depth etching and partial contour writing to achieve continuous reflective amplitude control.
机译:我们证明了在平面波导中光刻刻写的全息布拉格反射镜光栅结构,支持采用固定深度蚀刻和部分轮廓写入以实现连续反射幅度控制的切趾和覆盖的独特方法。

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