机译:通过回射扫描实现最高精度的干涉仪对准
机译:通过回射扫描实现最高精度的干涉仪对准
机译:使用场补偿扫描白光干涉仪精确测量干涉仪群时延
机译:激光干涉仪提高了用于空间板扫描的扫描微密度计的位置精度
机译:扫描干涉仪的动态对准设计和评估
机译:带有可调衍射光栅的扫描微干涉仪,用于低噪声并行操作。
机译:短程六轴干涉仪控制的扫描探针显微镜定位
机译:记录带有线扫描干涉仪的旋转光学表面的形状偏差,实时评估和轴偏差补偿/检测旋转光学表面与线扫描干涉仪,实时评估和扫描轴偏差补偿的形状偏差