Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y_(2)O_(3) reflection multilayers in the 25-35 nm region

Takeo Ejima; Atsushi Yamazaki; Takanori Banse; Katsuhiko Saito; Yuji Kondo; Satoshi Ichimaru; Hisataka Takenaka

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【24h】

Aging and thermal stability of Mg/SiC and Mg/Y_(2)O_(3) reflection multilayers in the 25-35 nm region

机译：Mg / SiC和Mg / Y_（2）O_（3）反射多层膜在25-35 nm区域的老化和热稳定性

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Reflection measurements in the 25-35 nm region were made for Mg/SiC and Mg/Y_(2)O_(3) multilayers kept in a low-humidity atmosphere for 4 or 5 years. Aged Mg/SiC multilayers keep their reflectances, and the reflectance value at 31.2 nm is 0.44 at 10 deg of the normal angle of incidence. Aged Mg/Y_(2)O_(3) multilayers change reflectance as top layer materials, and the best value at 30.1 nm is 0.40 at 10 deg. Reflection measurements are also made for Mg-based multilayers that are annealed from room temperature to 400 deg C at 50 deg C intervals. Both multilayers keep their reflectance at annealing temperatures of 200 deg C. These results suggest that both Mg-based multilayers can be applied to practical optics.

机译：对于在低湿度气氛中放置4或5年的Mg / SiC和Mg / Y_（2）O_（3）多层膜，在25-35 nm范围内进行反射测量。老化的Mg / SiC多层膜保持其反射率，在垂直入射角10度时31.2 nm处的反射率为0.44。老化的Mg / Y_（2）O_（3）多层作为顶层材料改变反射率，在30.1 nm处的最佳值在10度下为0.40。还对以50摄氏度为间隔从室温退火到400摄氏度的基于Mg的多层进行了反射测量。两个多层都在200摄氏度的退火温度下保持反射率。这些结果表明，两个基于Mg的多层都可以应用于实际的光学器件。

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来源
《Applied optics》 |2005年第26期|共8页
作者
Takeo Ejima; Atsushi Yamazaki; Takanori Banse; Katsuhiko Saito; Yuji Kondo; Satoshi Ichimaru; Hisataka Takenaka;
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