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Three-flat test solutions based on simple mirror symmetry

机译:基于简单镜像对称性的三平面测试解决方案

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摘要

In interferometric surface and wavefront metrology, three-flat tests are the archetypes of measurement procedures to separate errors in the interferometer reference wavefront from errors due to the test part surface, so-called absolute tests. What is believed to be a new class of solutions of the three-flat problem for circular flats is described in terms of functions that are symmetric or antisymmetric with respect to reflections at a single line passing through the center of the flat surfaces. The new solutions are simpler and easier to calculate than the known solutions based on twofold mirror symmetry or rotation symmetry. Strategies for effective azimuthal averaging and a method for determining the averaging error are also discussed.
机译:在干涉表面和波前计量学中,三平测试是测量程序的原型,用于将干涉仪参考波前中的误差与由于测试零件表面而引起的误差(所谓的绝对测试)分开。相对于穿过平面中心的单条线上的反射对称或反对称的函数,描述了被认为是圆形平面的三平面问题的新型解决方案。与基于双重镜像对称性或旋转对称性的已知解决方案相比,新解决方案更容易计算。还讨论了有效方位平均的策略和确定平均误差的方法。

著录项

  • 来源
    《Applied optics》 |2006年第23期|共10页
  • 作者

    Ulf Griesmann;

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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