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Single-step spatial rotation error separation technique for the ultraprecision measurement of surface profiles

机译：单步空间旋转误差分离技术，用于表面轮廓的超精密测量

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To improve the measurement accuracy of the profilometer for large optical surfaces, a new single-step spatial rotation error separation technique (SSEST) is proposed to separate the surface profile error and spindle spatial rotation error, and a novel SSEST-based system for surface profile measurement is developed. In the process of separation, two sets of measured results at the ith measurement circle are obtained before and after the rotation of error separation table, the surface profile error and spatial rotation error of spindle can be determined using discrete Fourier-transform and harmonic analysis. Theoretical analyses and experimental results indicate that SSEST can accurately separate spatial rotation error of spindle from the measured surface profile results within the range of 1-100 upr and improve the accuracy of surface profile measurements.
机译：为了提高轮廓仪在大光学表面上的测量精度，提出了一种新的单步空间旋转误差分离技术（SSEST）来分离表面轮廓误差和主轴空间旋转误差，并提出了一种基于SSEST的新型表面轮廓系统测量被开发。在分离过程中，在误差分离工作台旋转前后，在第i个测量圆处获得了两组测量结果，可以使用离散傅里叶变换和谐波分析确定主轴的表面轮廓误差和空间旋转误差。理论分析和实验结果表明，SSEST可以在1-100 upr范围内准确地将主轴的空间旋转误差与测得的表面轮廓结果区分开，并提高了表面轮廓测量的准确性。

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