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Direct deflection radius measurement of flexible PET substrates by using an optical interferometry

机译：使用光学干涉仪直接测量挠性PET基材的挠曲半径

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The deflection radius is essential in determining residual stress estimations in flexible electronics. However, the literature provides only indirect methods for obtaining a deflection radius. In this study, we present a measurement methodology for directly measuring the deflection radius of a polyethylene terephthalate (PET) substrate (a popular substrate of flexible electronics) by using an optical interferometer. A Twyman-Green optical interferometer was established and phase-shifting technology was used to increase the measurement resolution. Five PET substrates with known deflection radii were prepared to verify the measurement precision of the proposed measurement methodology. The results revealed that the error variance of our proposed measurement methodology is smaller than 3.5%. (C) 2015 Optical Society of America
机译：挠曲半径对于确定柔性电子设备中的残余应力估算至关重要。然而，文献仅提供用于获得偏转半径的间接方法。在这项研究中，我们提出了一种通过使用光学干涉仪直接测量聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）基板（柔性电子设备的流行基板）的挠曲半径的测量方法。建立了Twyman-Green光学干涉仪，并使用相移技术来提高测量分辨率。准备了五种具有已知偏转半径的PET基板，以验证所提出的测量方法的测量精度。结果表明，我们提出的测量方法的误差方差小于3.5％。 （C）2015年美国眼镜学会

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