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Temperature insensitive lower-index-mode photonic crystal nanobeam cavity

机译：温度不敏感的低折射率模式光子晶体纳米束腔

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We present the design, fabrication, and characterization of a temperature insensitive lower-index-mode photonic crystal (PhC) nanobeam (NB) cavity by overlaying SU-8 cladding. The lower-index-mode is utilized to control the amount of light confined in the SU-8 cladding to compensate for the thermo-optic effect of silicon. The temperature sensitivity of the PhC NB cavity can be tuned by changing the radius of the air holes. The temperature dependence of the PhC NB cavity with SU-8 cladding is demonstrated to be 5.1 pm/degrees C over 50 degrees C temperature range. The measured quality factor of the temperature insensitive lower-index-mode PhC NB cavity is similar to 1 x 10(4). (C) 2015 Optical Society of America
机译：我们介绍了通过覆盖SU-8覆层对温度不敏感的低折射率模式光子晶体（PhC）纳米束（NB）腔的设计，制造和表征。低折射率模式用于控制SU-8包层中的光量，以补偿硅的热光效应。 PhC NB腔的温度敏感性可以通过更改气孔的半径来调整。在50摄氏度的温度范围内，带有SU-8覆层的PhC NB腔的温度依赖性为5.1 pm /摄氏度。温度不敏感的低折射率模式PhC NB腔的测量品质因数类似于1 x 10（4）。 （C）2015年美国眼镜学会

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