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Microactuation and sensing using reversible deformations of laser-written polymeric structures

机译:使用激光写入聚合物结构的可逆变形微动和感测

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摘要

We investigate reversible deformations of polymeric microstructures fabricated using direct laser writing three-dimensional lithography upon immersion in various solvents. Swelling and shrinkage of sub-micrometre size features are induced by interaction with surrounding solvent and such deformations can be exploited to create larger structures whose size, shape, and other structural parameters depend on the surroundings. We describe diffractive optical elements, micro-mechanical sensors and also hybrid deformable structures, that can be used to implement micro-actuation, micro-sensing, and other functionalities highly sought for micro-optical, micromechanical, and micro-fluidic systems.
机译:我们研究在浸入各种溶剂时使用直接激光书写三维光刻制造的聚合物微结构的可逆变形。 通过与周围溶剂的相互作用诱导亚微米尺寸特征的肿胀和收缩,并且可以利用这种变形来产生较大的结构,其尺寸,形状和其他结构参数取决于周围环境。 我们描述了衍射光学元件,微机械传感器以及混合可变形结构,可用于实现微型致动,微观感测和其他对微光学,微机械和微流体系统寻求的其他功能。

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