...
机译:来自水 - 醇混合物的薄碳膜的喘气沉淀
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН;
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН;
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН;
углерод; тонкие пленки; газофазный синтез; водно-спиртовые смеси;