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【24h】

CaO/Al_2O_3>1のモル比を有するCaO-Al_2O_3-SiO_2ガラスの熟的特性と構造の組成依存性

机译:成熟特性和CaO-Al_2O_3-SiO_2玻璃成熟特性和结构的构成依赖性,具有CaO / Al_2O_3> 1的摩尔比

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摘要

網目形成酸化物(Networkformer,以下NWFと略記)のシリカ(SiO_2)及びアルミナ(Al_2O_3)と網目修飾酸化物(Networkmodifier,以下NWMと略記)を構成成分とするガラスは,アルミノケイ酸塩ガラスと呼ばれ,800°C前後の高いガラス転移温度1)と3~6×10-6°C-1の低い熱膨張係数1)を特徴とする。ここで代表的なNWMはアルカリ及びアルカリ土類酸化物R20,R,0(R=Li,Na,K,R’=Ca,SちBa)である0アルミノケイ酸塩ガラスは現在ディスプレイガラスやIC製造用フォトマスク基板2)として広く実用化されている。
机译:具有二氧化硅(SiO_2)和氧化铝(NWF)和氧化铝(缩写为NWF)的玻璃和网形成氧化物的网状改性氧化物(缩写为NWF)(下文中称为NWF)和网眼改性氧化物(下文中缩写为NWM)称为硅铝酸盐玻璃。,高玻璃化转变温度1)之前,具有3至6×10 -6℃-1,具有高玻璃化转变温度1)和3至6×10 -6°C-1。 这里,典型的NWM是碱和碱土氧化物R20,R,0(R = Li,Na,K,R'= Ca,S Chi Ba)0硅硅酸盐玻璃是目前展示玻璃或IC的广泛放入实际用途作为制造光掩模衬底2)。

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