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【24h】

トライボロジー試驗·測定技術(I)：走査型レーザ顕微鏡／走査型プローブ顕微鏡複合装置の技術と応用

机译：摩擦学检测和测量技术（i）：技术和应用扫描激光显微镜/扫描探头显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜

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半導体の高集積化、電子部品の小型実装化、MEMSデバイスの超微細加工など、技術の進歩に伴い、微小な三次元計測には、高精度·高分解能かつ測定範囲の拡大が要求されてきている。 これらの要求に応えるために、様々な三次元測定装置が提案されているが、その中でも特に、大気中で簡単に三次元計測できる装置として、走査型共焦点レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)や走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の利用が広がってきている。本稿では、これらの要望に応える計測装置として、LSMとSPMを複合した「ナノサーチ顕微鏡」の技術と応用について紹介する。
机译：随着技术的进步，如半导体的高集成，小型安装电子元件的小型安装，高精度，高分辨率和测量范围扩展都需要小三维测量。有。 已经提出了各种三维测量装置来满足这些要求，而是其中，扫描型激光显微镜（LSM：激光扫描显微镜）作为可以在大气中容易地测量的装置。以及使用扫描探针显微镜（SPM ：扫描探针显微镜）已涂抹。 在本文中，我们介绍了“纳米显微镜”的技术和应用，将LSM和SPM组合为满足这些请求的测量装置。

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