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【24h】

安定なイオンビームで広い材料表面を加工金属クラスターやコロイド様金属を利用次世代半導体の表面組成分析に寄与

机译:使用金属簇和胶体样金属具有稳定的离子束的金属簇和胶体状金属有助于下一代半导体的表面成分分析

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摘要

産業技術総合研究所計測標準研究部門(つくばセンター)の藤本俊幸主任研究員らは、安定なクラスターイオンビームを使って広い領域の材料表面を加工する技術を開発した。 これは質量数のそろった金属クラスター錯体やコロイド様金属クラスターをイオン源として利用することによって実現したもので、次世代半導体に求められる表面近くの組成分析に大きく寄与しそうだ。
机译:研究部门(Tsukuba Centre),Mizuki Motoba Center,Mizuki Motoba Center,是一位技术研究员,开发了一种使用稳定的聚类离子束加工宽面积材料表面的技术。 这是通过使用金属簇复合物和胶体样金属簇作为离子源来实现,并且可能大大有助于下一代半导体所需的表面附近的组成分析。

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