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【24h】

中性子を用いたDLC膜の密度評価の検討

机译:使用中子的DLC膜密度评价检查

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摘要

石川県では金属材料の表面改質の研究を1980年代からスタートし、「ィオン」と「プラズマ」の2つのキーワードを基本として薄膜作りを行ってきた。この間、薄膜の評価を最先端の評価手法(加速器を用いた薄膜中の含有水素量、中性子を用いた膜密度等)の検討を行ってきた。我々、地方公設試験研究機関においては、薄膜の評価手法について設備的に限界があり、中央の研究機関(日本原子力研究開発機構、産業総合技術研究所、理化学研究所等)の協力を得ながら新しい評価手法を取り入れてきた。
机译:在Ishikawa县,自20世纪80年代以来启动了金属材料表面改性的研究,并为“离子”和“血浆”的两个关键词已成为基本。 在此期间,已经通过切削刃评估方法(使用加速器的薄膜中的氢含量和使用中子的膜密度)来检查薄膜的评估。 在区域公共考试研究所,薄膜评估方法有一个限制,它是中央研究所(日本原子能研究开发组织,工业技术实验室等)的新型。)我们已纳入评估方法。

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