Получение фотонных кристаллов в структурах на основе полупроводников и полимеров с использованием метода наноимпринта

Е.М.Аракчеева; Е.М.Танклевская; С.И.Нестеров; М.В.Максимов; С.А.Гуревич; J.Seekamp; C.M.Sotomayor Torres

首页> 外文期刊>Журнал технической физики >Получение фотонных кристаллов в структурах на основе полупроводников и полимеров с использованием метода наноимпринта

【24h】

Получение фотонных кристаллов в структурах на основе полупроводников и полимеров с использованием метода наноимпринта

机译：基于半导体和聚合物的结构中的光子晶体的制备方法

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Описана технология получения фотонных кристаллов с использованием метода наноимпринта. Для изготовления одномерных и двумерных фотонных кристаллов на основе полиметилметакрилата использовалось непосредственное продавливание полимера штампами Si, полученными методами интерференционной литографии и реактивного ионного травления. Период двумерных фотонных кристаллов, представляющих квадратную решетку отверстий, находился в диапазоне 270-700 nm, диаметр отверстия соответствовал половине периода. Отверстия имели круглую форму с ровными краями. Одномерные фотонные кристаллы на основе GaAs изготавливались путем реактивного ионного травления через маску, сформированную при помощи литографии наноимпринта. Полученные в результате травления GaAs на глубину 1 mum одномерные фотонные кристаллы имели период 800 nm, ширину гребешка 200 nm и очень гладкие и почти вертикальные боковые стенки.

机译：描述了使用纳米压印方法获得光子晶体的技术。为了制造基于聚甲基丙烯酸甲酯的一维和二维光子晶体，使用具有通过干扰光刻和反应离子蚀刻方法获得的印章SI的聚合物的直接构件。表示孔的方形晶格的二维光子晶体的周期在270-700nm的范围内，孔直径对应于该时段的一半。孔具有圆形形状，边缘光滑。通过通过纳米印记光刻的帮助形成的掩模通过反应离子蚀刻制造基于GaAs的一维光子晶体。由于GaAs的蚀刻而获得的一维光子晶体具有800nm，100nm扇贝宽度和非常平滑且几乎垂直的侧壁的时期。

著录项

来源
《Журнал технической физики》 |2005年第8期|共5页
作者
Е.М.Аракчеева; Е.М.Танклевская; С.И.Нестеров; М.В.Максимов; С.А.Гуревич; J.Seekamp; C.M.Sotomayor Torres;
展开▼
作者单位

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН 194021 Санкт-Петербург Россия;

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН 194021 Санкт-Петербург Россия;

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН 194021 Санкт-Петербург Россия;

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН 194021 Санкт-Петербург Россия;

Department of Electrical and Information Engineering Institute of Materials Science University of Wuppertal 42097 Wuppertal Germany;

Department of Electrical and Information Engineering Institute of Materials Science University of Wuppertal 42097 Wuppertal Germany;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类工程基础科学;
关键词

相似文献

中文文献
专利

Получение фотонных кристаллов в структурах на основе полупроводников и полимеров с использованием метода наноимпринта

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅