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静圧リニアガイドによる高精度自動位置決め装置「メタルエアスライダー」

机译：高精度自动定位装置“金属空气滑块”通过静态容量线性导向装置

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摘要

1983年シグマ光機が自動位置決め装置を手掛けて20年が経とうとしている現在，自動位置決め装置に求められる精度は半導体，FPDなどにみられるようにミクロンからサブミクロン，そしてナノオーダーへと確実にレベルアップしてきており，従来型のベアリング，ボールねじなどを使用した自動位置決め装置ではこれらのニーズに十分対応することができなくなりつつある．こうした背景のもと，可動部をエア圧を使用することによりガイドレールから浮上させる静圧リニアガイド「メタルエアスライダー」を開発した（図1）．エアを供給した状態では，可動部はフリーの状態が作られただけで，実際に動作させるために駆動系としてはリニアモータ，制御はガイドレールに取り付けられたスケール情報をもとに，サブミクロンの精度を実現している．このように，メタルエアスライダーは非接触で可動部を作動させるため，低速時の速度安定性，耐久性など数々のメリット（後述）を得ることができた．
机译：1983年Σ光学设备目前，20岁的是20岁的精度，自动定位装置所需的精度是从微米到亚微米的，纳米级，以便在半导体，FPD中看到。自动使用常规轴承，滚珠丝杠等定位装置越来越多地增加，并且不可能对这些需求充分响应。在这种情况下，静压线性导向器“金属空气滑块”，通过使用气压从导轨漂浮（图1）。随着供应的空气，可移动部件仅是自由状态，并且作为实际操作的驱动系统，线性电机和控制基于安装在导轨上的比例信息，并且基于附加到导向的尺度信息的亚微米铁路。实现精度。如上所述，由于金属空气滑块具有非接触的可移动部分，因此可以在低速下获得多种优点（稍后描述），例如速度稳定性和耐用性。

著录项

  • 来源
    《機械設計》 |2003年第3期|共3页
  • 作者

    西川昌洋; 山本浩;

  • 作者单位

    National Institute for Fusion Science 322-6 Oroshi Toki 509-5292 Japan;

    National Institute for Fusion Science 322-6 Oroshi Toki 509-5292 Japan;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 机械设计、计算与制图;
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