Представлены результаты исследования дугового источника плазмы с холодным полым катодом, генерирующего при токах разряда до 150 А, напряжениях горения дуги 30-40 В и низком давлении (0.1-1 Па) плазму концентрацией ～10{sup}10 см{sup}(-3) в объеме ～0.2 м{sup}3. За счет перемещения катодного пятна дуги внутри полого катода в скрещенных электрическом и магнитном полях и специальной конструкции катода увеличивается срок службы катода и практически исключается выход распыляемого материала катода в рабочую вакуумную камеру.
展开▼
机译：具有冷空心阴极的电弧等离子体源的研究结果，在放电电流上产生高达150a，燃烧弧的应力30-40V，低压（0.1-1Pa）等离子体浓度为约10 {sup} 10 cm {sup}（ - 3）的量为0.2 m {sup} 3。 由于在交叉的电场内的空心阴极内部的电弧的运动和阴极的特殊设计，阴极使用寿命增加并且喷涂的阴极材料进入工作真空室的出口实际上是消除了。
展开▼
