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【24h】

振動モードAFM機構を用いたナノスケール除去加工 第1報:マイクロカンチレバーの接触挙動の観察

机译:使用振动模式AFM机制的纳米级去除处理第1次报告:观察MicroCantylver的接触行为

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摘要

本研究ではマイクロカンチレバーに振動を付与して加工を行う方法に注目し,実験により加工時のマイクロカンチレバーの振動現象を明らかにすることを目的とした.加工の実現に向けて試料とマイクロカンチレバーの距離に応じたダイナミクスを把握するために,強制加振状態でのフォースカーブ(動的フォースカーブ)を計測した.この結果から,マイクロカンチレバーの振動形態を(a)引力タッビング,(b)斥力タッビング,(c)押しつけこすり,(d)引きこみこすりと分類した.また,マイクロカンチレバーを強制加振した状態で加工実験を行い,加工を行うには押しつけこすり状態が有用であることを切削くずの多さから指摘した.
机译:在本研究中,旨在施加振动到微囊道以进行处理的方法,并且对象是通过实验加工时阐明微囊道的振动现象。 为了根据样品和微悬臂的距离来掌握动力学,以实现过程,测量强制振动状态中的力曲线(动态力曲线)。 从该结果,微囊道的振动形式被分类为(a)有吸引力的突片,(b)排斥突片,(c)和(d)撤离。 另外,在强制微导管的状态下进行处理实验,并且使用压制拘留状态来执行处理以进行处理,因此指出它是有用的。

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