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表面改質技術の進歩とその応用:II.最近の表面改質技術および素材技術の進歩-3.蒸着技術

机译:表面改造技术的进步及其应用:II。最近的表面改性技术与材料技术进展-3。气相沉积技术

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摘要

最近の表面改質技術は、プラズマ制御技術、真空·雰囲気制御、エレクトロニクスなどの技術の進歩により飛躍的に発展してきた。 その方向性は、高品質化·高機能化へと向かいつつある。 一方、昨今の低迷する経済を反映し、生産性向上と共に高性能化と低コスト化がさらに厳しく要求され、また近年ISO14000が話題となってドライ加工に対するニースが増し、加工条件がさらに厳しくなるとともに環境に対する調和性についても満足しなければならなくなってきた。従来の表面改質法は、固体·液体·気体などを利用した処理法が一般的であったが、こうした要求を受けて、自動化が容易で、しかもシビアなプロセス制御が可能な真空やプラズマエネルギーを利用した表面改質法が主流となって来ている。 なかでも、PVDイオンプレーティング法が注目され、切削工具、金型、機械部品など多様化するニーズに対応する手段として、蒸着法が適用され、その効果が着実に認められてきた。
机译:最近的表面改性技术通过诸如等离子控制技术,真空,大气控制和电子产品等技术进步而显着开发。其方向性正在高品质和高功能。另一方面,最近的缓慢经济经济体,高性能和降低成本更严重需要,ISO14000变得更加严重,干燥加工越来越好,加工条件变得更加严峻。必须满足环境的协调。常规表面改性方法使用固体,液体,气体等常用。使用主流的表面改性方法是主流。其中,PVD离子电镀方法吸引了注意力,并且沉积方法已被应用为用于响应多样化需求的装置,例如切削刀具,模具,机器部件及其效果已经稳定地识别。

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