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【24h】

「クリーンルームあよび関連する制御環境中における粒子状汚染物質に関する表面清浄度の表記方法および測定方法指針」及び「ワリーンルームにおける基板表面汚染物質の測定方法指針」作成にあたって

机译:“洁净室中颗粒污染物表面清洁度的方法和相关控制环境中的”测量方法指导“和”沼泽地底物污染物的测量方法“创作

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摘要

半導体を始めとする先端産業のクリーンルーム空気中において,粒子状物質はもちろh,分子状汚染物質(Airborne Molecular Contaminants:AMCs)についても,製品の品質に悪影響を及ぼす汚染物質として制御対象とされてきている。 日本空気清浄協会においては,分子状汚染物質に関する指針として且999年にJACA No.34クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定方法指針,2000年にJACA No.35クリーンルーム及び関連する制御環境中における分子状汚染物質に関する清浄度の表記方法,2002年にJACA No.38クリ川ンルーム用ケミカルエアフィルタ性能試験方法指針の発行を行ってきた。
机译:在先进行业的洁净室空气中,包括半导体,颗粒物质是常规h,分子污染的材料(空气传播分子污染物:AMC),也被用作对产品质量产生不利影响的污染物。 在日本空气清洁协会中,2000年2000年测量从Jaca No.34洁净室组件产生的分子污染物的方法,是分子污染物的指南,作为分子污染物的指南,Jaca No.35号洁净室和2000年相关控制环境分子污染物清洁方法 38 Kurikawa Room的化学空气过滤器性能测试方法已发出指导方针。

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