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高精度マイクロ放電加工の研究(第2報)-次世代マイクロ放電加工機の開発

机译:高精度微电子加工(第2次报告) - 下一代微调机的开发

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摘要

今回従来のマイクロ放電加工機で実績のある電極保持機構とRCパルス放電発生回路,またXYZ3軸のステージにはACサーボモータとリニアスケールによるフルクローズドループで位置制御するPCベースのNCシステムを採用したマイクロ放電加工機を開発した.ここでは,今回開発した加工機によるマイクロ放電加工特性について報告する.
机译:这次是一种基于PC的NC系统,由AC伺服电机和具有通过AC伺服电机的完全闭环的全闭环和传统微电机级的线性刻度,以及XYZ3轴的阶段的线性刻度。 。开发了一种微放电机。 在这里,我们通过此时间开发的加工机报告了微放电加工特性。

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