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【24h】

大気圧プラズマ式除害装置:画期的な水壁反応器を備えた除害装置KPL-Cシリーズ

机译:大气压等离子体减排设备:带有革命性水上墙反应器KPL-C系列的富富设备

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摘要

近年デバイスの高密度化、微細化が進み、薄膜の多層化が進hできたため、デバイスの作成には従来以上に多くのプロセス装置が必要となり、このため除害装置も数多くデバイス工場に導入されるようになっている。今後、自動車の自動化、ロボットの普及等で、益々電子デバイスの需要の高まりが予測され、それに伴い、多くのプロセス装置と多くの除害装置が国内外で設置されると考えられる。
机译:近年来,由于装置的致密化已经致密化和小型化,并且薄膜的多层是渐进的,因此需要更多的工艺装置来创建装置,这也被引入到设备厂,如其他有害设备。 。它变得如此。 将来,据信,许多工艺设备和许多异常设备安装在日本和海外,与电子设备的需求,例如汽车自动化,机器人等。

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