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Tapered simplified modal method for analysis of non-rectangular gratings

机译:用于分析非矩形光栅的锥形简化模态方法

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摘要

The simplifiedmodal method (SMM) [Opt. Quantum Electron. 37, 309 (2005)] provides a quick, intuitive way to analyze the performance of the gratings of rectangular shapes. For non-rectangular shapes, a version of SMM has been developed [Opt. Lett. 33, 1554 (2008)], but it applies only to the Littrow-mounting incidence case and neglects reflection. Here, we use the theory of mode-coupling in a tapered waveguide to improve SMM so that it applies to non-rectangular gratings at arbitrary angles of incidence. Moreover, this new tapered simplified modal method (TSMM) allows us to properly account for reflected light and requires fewer coupled guided modes to compute the correct diffracted field than required plane wave modes in rigorous coupled wave analysis (RCWA). We present here the analytical development of the theory and numerical simulations, demonstrating the validity of the method by comparing it with RCWA and the finite difference time domain method. (C) 2016 Optical Society of America
机译:简化的模型方法(SMM)[选择。量子电子。 37,309(2005)]提供一种快速,直观的方式来分析矩形形状的光栅的性能。对于非矩形形状,已经开发了一个版本的SMM [选择。吧。 33,1554(2008)],但它仅适用于Littrow安装的发生率和忽视反射。这里,我们在锥形波导中使用模式耦合理论以改善SMM,使得它在任意入射角处适用于非矩形光栅。此外,这种新的锥形简化模态方法(TSMM)允许我们适当地考虑反射光,并且需要较少的耦合引导模式来计算比严格耦合波分析(RCWA)中所需的平面波模式的正确衍射场。我们在这里介绍了理论和数值模拟的分析开发,通过将其与RCWA和有限差分时域方法进行比较来展示该方法的有效性。 (c)2016年美国光学学会

著录项

  • 来源
    《Applied optics》 |2017年第1期|共10页
  • 作者单位

    MIT Dept Mech Engn 77 Massachusetts Ave Cambridge MA 02139 USA;

    Chinese Acad Sci Shanghai Inst Opt &

    Fine Mech Shanghai 201800 Peoples R China;

    MIT Dept Mech Engn 77 Massachusetts Ave Cambridge MA 02139 USA;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 应用;
  • 关键词

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