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机译:气体放电探测器的寿命延伸,等离子体蚀刻硅沉积物在80%CF4 + 20%CO2中
Petersburg Nucl Phys Inst Natl Res Ctr Kurchatov Inst Mkr Orlova Roshcha 1 Gatchina 188300 Leningrad Oblas Russia;
Voronezh State Univ Univ Skaya Pl 1 Voronezh 394018 Russia;
Petersburg Nucl Phys Inst Natl Res Ctr Kurchatov Inst Mkr Orlova Roshcha 1 Gatchina 188300 Leningrad Oblas Russia;
Petersburg Nucl Phys Inst Natl Res Ctr Kurchatov Inst Mkr Orlova Roshcha 1 Gatchina 188300 Leningrad Oblas Russia;
Petersburg Nucl Phys Inst Natl Res Ctr Kurchatov Inst Mkr Orlova Roshcha 1 Gatchina 188300 Leningrad Oblas Russia;
Petersburg Nucl Phys Inst Natl Res Ctr Kurchatov Inst Mkr Orlova Roshcha 1 Gatchina 188300 Leningrad Oblas Russia;
gas discharge; gas discharge detectors; etching; silicon compounds; aging; anode wires; proportional counter;
机译:气体放电探测器的寿命延伸,等离子体蚀刻硅沉积物在80%CF4 + 20%CO2中
机译:密集低压感应耦合射频放电碳氟化合物等离子体中的硅和二氧化硅蚀刻
机译:局部气体放电中硅和二氧化硅的尺寸蚀刻
机译:含氟碳放电的等离子体蚀刻过程中硅和二氧化硅表面的性质
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:NF3和F3No等离子体的氧化硅蚀刻方法具有残余气体分析仪
机译:由由等离子体增强的化学气相沉积层堆叠钝化的寿命和表面相关的终身样品中的寿命样本中的寿命样本
机译:用集成特征演化 - 等离子体模型模拟氯气中的蚀刻