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Vision chromatic confocal sensor based on a geometrical phase lens

机译：基于几何相位镜头的视觉色度共聚焦传感器

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A vison chromatic confocal sensor used to monitor the location ofa measured point is proposed and experimentally verified. To induce chromatic aberration of the sensor, a geometrical phase lens is adopted and is also used as a beam splitter. Near the geometrical phase lens, a focused beam is used for the chromatic confocal sensor, and a diverging beam is used for imaging of the specimen. In the experiment, the performance of the proposed system was verified with regard to distance sensing and the capability of monitoring the measured points. The measuring range was approximately 10 mm, and the repeatability was 0.4 mu M when a geometrical phase lens with a 75 mm focal length was used. (C) 2021 Optical Society of America
机译：提出了一种用于监测被测点位置的vison彩色共焦传感器，并进行了实验验证。为了引起传感器的色差，采用了几何相位透镜，并将其用作分束器。在几何相位透镜附近，聚焦光束用于彩色共焦传感器，发散光束用于样品成像。在实验中，验证了该系统在距离传感和监测测量点的能力方面的性能。当使用焦距为75 mm的几何相位透镜时，测量范围约为10 mm，重复性为0.4μM。（2021）美国光学学会

著录项

  • 来源
    《Applied optics》 |2021年第10期|共4页
  • 作者

    Park Hyo Mi; Kwon Uihyeok; Joo Ki-Nam;

  • 作者单位

    Chosun Univ Dept Photon Engn 309 Pilmun Daero Gwangju 61452 South Korea;

    Chosun Univ Dept Photon Engn 309 Pilmun Daero Gwangju 61452 South Korea;

    Chosun Univ Dept Photon Engn 309 Pilmun Daero Gwangju 61452 South Korea;

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  • 正文语种 eng
  • 中图分类 应用;
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