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Confocal laser scanning holographic microscopy of buried structures

机译：埋藏结构的共聚焦激光扫描全息显微镜

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In this paper, we present a confocal laser scanning holographic microscope for the investigation of buried structures. The multimodal system combines high diffraction limited resolution and high signal-to-noise-ratio with the ability of phase acquisition. The amplitude and phase imaging capabilities of the system are shown on a test target. For the investigation of buried integrated semiconductor structures, we expand our system with an optical beam induced current modality that provides additional structure-sensitive contrast. We demonstrate the performance of the multimodal system by imaging the buried structures of a microcontroller through the silicon backside of its housing in reflection geometry. (C) 2020 Optical Society of America
机译：在本文中，我们提出了一种共焦激光扫描全息显微镜的研究掩埋结构。多模系统结合了高衍射极限分辨率、高信噪比和相位采集能力。系统的振幅和相位成像能力显示在测试目标上。为了研究埋入式集成半导体结构，我们用光束感应电流模式扩展了我们的系统，该模式提供了额外的结构敏感对比度。我们通过在反射几何体中通过微控制器外壳的硅背面成像微控制器的埋置结构来展示多模系统的性能。（C） 2020美国光学学会

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