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有機材料蒸着用面蒸発源が(一社)日本真空工業会真空装置 大賞を受賞

机译：有机材料蒸汽蒸源（一家公司）赢得了日本空缺行业协会Masakagi奖

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摘要

面蒸発源はドライコーティングの中で古くから知られた真空蒸着法の原理を採用しつつ、省スペースで高い膜厚均一性と材料利用効率を両立させながら有機蒸着材料を成膜できる蒸発源である。基板?蒸発源ともに静止状態で成膜する本来の使用方法に加え、ロールtoロール(RtoR)やインライン装置に代表される基板移動成膜方式に応用し、有機EL製造装置や防汚膜成膜装置への適用を可能にした。これら成果が認められ、日本真空工業会より真空装置大賞を受賞した。
机译：表面蒸源是一种蒸发源，它使我们能够在采用真空蒸气沉积法的原理同时形成有机蒸发材料，该原理在干涂层中长期以来已知，同时既可以提高薄膜厚度和材料的使用效率。 。 除了在静止状态下底物和蒸发源的原始用法外，它还适用于卷卷（RTOR）和底物移动膜形成由内联装置代表的方法，以及有机EL制造设备和防污膜胶片胶片。它可以将应用程序应用于设备。 这些成就得到了认可，并获得了日本空缺行业协会的空缺奖。

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  • 来源
    《Hitz技報》 |2021年第1期|42-43|共2页
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  • 正文语种 日语
  • 中图分类 U-028J;
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