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Forscher-Team wird fur die Entwicklung der EUV-Lithographie mit dem Deutschen Zukunftspreis ausgezeichnet

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摘要

Fur ihr Projekt "EUV-Lithographie - Neues Licht fur das digitale Zeitalter" zeichnete der Bundesprasident Frank-Walter Steinmeier das Experten-Team um Dr. Peter Kurz, ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT), Dr. Michael Kosters, TRUMPF, und Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut fur Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena, mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 aus. Das Gewinner-Team hat einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie geleistet.
机译:给你们EUV-Lithographie”项目——新灯够做数字时代”画的Bundesprasident部长施泰因迈尔这Experten-Team博士一下彼得,印苏纳只字不提半导体制造技术(SMT),博士。迈克尔Kosters王牌,博士Sergiy Yulin,Fraunhofer-Institut对外观和应用举例来讲IOF德国耶拿,Zukunftspreis 2020年从.一个发展作出重大贡献,工业的Serienreife EUV-Technologie贡献.

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