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Distorted wave front produced by a high-resolution projection optical system having rotationally symmetric birefringence

机译：具有旋转对称双折射的高分辨率投影光学系统产生的畸变波阵面

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The influence of birefringence caused by rotationally symmetric stress distribution in a high-resolution projection optical system is investigated. The general form of the pupil function is derived based on the Jones matrix calculation, expressing the wave front as a combination of the two orthogonal polarization components. Assuming a linearly polarized incident beam, it is found that the main polarization portion of the wave front exiting the projection lens has astigmatic aberration in the Seidel region and shows phase singularity at four pupil points at which the amplitude transmittance becomes zero. (C) 1998 Optical Society of America OCIS codes: 110.3000, 110.5220, 260.1440, 260.5430. [References: 18]
机译：研究了高分辨率投影光学系统中旋转对称应力分布对双折射的影响。瞳孔函数的一般形式是基于琼斯矩阵计算得出的，将波前表示为两个正交极化分量的组合。假设是线性偏振的入射光束，则发现离开投影透镜的波前的主偏振部分在Seidel区域中具有像散像差，并且在振幅透射率为零的四个光瞳点处显示出相位奇异性。 （C）1998年美国光学学会OCIS编码：110.3000、110.5220、260.1440、260.5430。 [参考：18]

著录项

  • 来源
    《Applied optics》 |1998年第31期|共7页
  • 作者

    Unno Y.;

  • 作者单位
  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 光学;
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