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Windows in ellipsometry measurements

机译：Windows在椭偏测量中

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The effect of windows or lenses placed between the polarization-state generator and the polarization-state detector in a general ellipsometry measurement is examined. It is found that three parameters are required for describing the effects of the window retardation on the ellipsometry measurements. Two of these window parameters can be measured at the same time as the sample parameters if the sample is isotropic, but the third window parameter cannot be determined independently and must be measured separately. If the sample is anisotropic, then none of the windows parameters can be measured inde-pendently at the same time as the sample parameters. An example is given in which the strain-induced retardation in fused-silica focusing lenses is measured with a two-modulator generalized ellipsometer and the results are used to correct the sample data.
机译：在一般的椭圆光度测量中，检查了放置在偏振态发生器和偏振态检测器之间的窗口或透镜的影响。发现需要三个参数来描述窗口延迟对椭偏测量的影响。如果样品是各向同性的，则可以与样品参数同时测量其中两个窗口参数，但是第三个窗口参数不能独立确定，必须单独测量。如果样品是各向异性的，则所有窗口参数都不能与样品参数同时测量。给出了一个例子，其中用两调制器广义椭圆仪测量熔融石英聚焦透镜中的应变引起的延迟，并将结果用于校正样本数据。

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