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Effects of phase changes on reflection and their wavelength dependence in optical profilometry

机译：光学轮廓仪中相变对反射及其波长依赖性的影响

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The method as well as an appropriate instrumentation for measuring phase changes of reflected light is described. The phase changes on samples of Au, Al, Ag, and Cr evaporated films are measured for five wavelengths (lambda) from 442 to 633 nm, with respect to the phase change at the glass-air interface, where it should be zero. The measured results for the Au film are in fairly good agreement with values calculated by use of optical constants from a handbook or the complex refractive index measured by an ellipsometer. The phase changes far Al and Ag films are different from calculated values by similar to 5 degrees or a shift length of 4.4 nm at lambda = 633 nm, while those of the Or film show large shifts as high as 16 degrees or a shift length of 9.8 nm at lambda = 442 nm. (C) 1997 Optical Society of America.
机译：描述了该方法以及用于测量反射光的相位变化的合适仪器。相对于玻璃-空气界面处的相位变化（应为零），从442至633 nm的五个波长（λ）上测量了Au，Al，Ag和Cr蒸镀膜样品的相位变化。 Au膜的测量结果与通过使用手册中的光学常数或通过椭偏仪测量的复数折射率计算出的值非常吻合。 Al和Ag膜的相变与计算值相差约5度或在λ= 633 nm时的位移长度为4.4 nm，而Or膜的相变显示高达16度的大位移或λ的位移长度。 λ= 442 nm时为9.8 nm。 （C）1997年美国眼镜学会。

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